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초정밀 나노 스테이지에서의 다중 변위 확대 기구 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
나노 임프린트 장비의 정밀도 확보를 위한 Z축 변위 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
Analysis and Improvement of Dynamic Characteristics of 3-axis Nano Stage
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2005 .05
고속ㆍ고하중용 나노구동 스테이지의 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
간접 가진을 이용한 나노 임프린트 스테이지의 진동 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
초정밀 스캐닝 스테이지를 위한 고분해능, 대변위의 MEMS 용량형 변위센서
대한전자공학회 학술대회
2006 .06
Performance Analysis of Scaffold Fabrication System Based on Micro-stereolithography Technology
한국기계기술학회지
2012 .01
진공용 나노 스테이지 개발을 위한 고찰
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2004 .01
에어베어링을 이용한 회전형 스테이지 설계에 관한 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2007 .01
진공용 듀얼 서보 스테이지의 제어 및 성능 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
최소차원 관측기를 이용한 평면 X-Y 스테이지의 나노 위치제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2003 .10
진공용 대변위 나노 스테이지 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
진공용 나노스테이지 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2004 .04
전자빔 가공기용 진공 5 축 스테이지의 제어 및 운동특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
초정밀 스테이지용 능동 진동제어시스템 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
나노 가이드 시스템에서 초기 변위의 영향에 관한 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2006 .05
(주) 나노텍
고분자 과학과 기술
2004 .02
나노 스테이지에 대한 슬라이딩-모드 제어 기반의 강인 최적 제어기 설계
정보 및 제어 논문집
2007 .04
2축 정밀 스테이지의 구동 기초 실험
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
진공용 5축 스테이지의 설계에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
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