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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
40 - 43 (4page)

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Recently, linear motion system has been required more smaller minimum resolution and more longer stroke for LCD and semi-industry product manufacturing applications. And also the operational environment like vacuum and clean room etc. have been considered as the design and manufacturing limitation.
Our research target is the development of nano stage of 200㎜ strokes and 30㎚ resolutions. The stage have very tightly limited the features of high vacuum compatibility and non electric field. Therefore these limitations make the difficulty in somethings such as selections of materials, considerations of thermal effect, and electric field effect etc.
In this paper, we suggest the dual servo mechanism to achieve the nano resolution in the ranges of about 200㎜ and to apply the FIB system. Finally, we give the conclusions on the performance test results of the nano stage.

목차

Abstract
1. 서론
2. 진공용 대변위 나노 스테이지
3. 진공 챔버 및 무진동 시스템
4. 단위 응답 특성 결과
5. 결론
후기
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