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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.10
수록면
487 - 488 (2page)

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#Dual servo(듀얼서보) #High Vacuum(고진공) #Nano Stage(나노스테이지) #Evaluation(평가)

목차

1. 서론
2. 진공용 대변위 듀얼 서보 나노스테이지
3. 운동 성능 평가
4. 진공 성능 평가 결과
5. 결론
후기
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