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저자정보
최용석 (국민대학교) 노기훈 (국민대학교) 원종진 정재일
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
3,134 - 3,138 (5page)

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In this study, the calibration process is executed for an over-actuated precision stage, which is designed for alignment process in nano-imprint fabrication process. We measured the positional accuracy of the stage for the X-Y axis to identify position errors and performed the calibration procedure by using a lookup table and interpolation. As a result, the precision stage is calibrated to have position errors of less than 1 micrometer in X and Y axis.
#Over-actuatd stage(과구동 스테이지) #Position error(위치 오차) #nano-imprint lithography(나노 임프린트 리소그래피) #calibration(보정)

목차

Abstract
1. 서론
2. 스테이지의 오차 측정 및 보정 실험
3. 4축 스테이지의 오차 보정 실험결과
4. 결과 분석
5. 결론
감사의 글
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