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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
2,360 - 2,365 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

고성능 주사탐침열현미경 열전탐침 제작
김동립 ,  김경태 ,  권오명 외 3명 대한기계학회 논문집 A권 2005.11 학술저널
고성능 주사탐침열현미경 열전탐침 제작
김동립 ,  김경태 ,  권오명 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Scanning Thermal Microscope (SThM) has been known for its superior resolution for local temperature and thermal property measurement. However, commercially available SThM probe which is the key component of SThM does not provide resolution enough to explore nanoscale thermal phenomena. Here, we developed a SThM probe fabrication process that can achieve spatial resolution around 50 ㎚. The batch-fabricated probe has a thermocouple junction located at the end of the tip. The size of the thermocouple junction is around 200 ㎚ and the distance of the junction from the very end of the tip is 150 ㎚. The probe is currently being used for nanoscale thermal probing of nano-material and nano device.
#Scanning Thermal Microscope: SThM (주사탐침열현미경) #열저항 탐침(Thermoresistive Probe) #열전 탐침(Thermoelectric Probe)

목차

Abstract
1. 서론
2. 탐침 제작 공정
3. 열전탐침의 성능 및 특성 실험
4. 결론
후기
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