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논문 기본 정보

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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.15 No.3
발행연도
2006.6
수록면
82 - 90 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2006

대면적 플랫폼을 갖는 Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2 축 MEMS 스테이지
정일진 ,  전종업 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.09 학술저널
대면적 플랫폼을 갖는 Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2축 MEMS 스테이지의 설계
정일진 ,  전종업 한국생산제조학회지 2006.06 학술저널

2004

대면적 플랫폼을 갖는 정전형 2 축 MEMS 스테이지의 설계
정일진 ,  전종업 ,  백경록 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Recently the electrostatic 2-axis MEMS stages have been fabricated for the purpose of an application to PSD (Probe-based Storage Device). However, all of the components(platform, comb electrodes, springs, anchors, etc.) in those stages are placed in-plane so that they have low areal efficienceis, which is undesirable as data storage devices. In this paper, we present a novel structure of an electrostatic 2-axis MEMS stage that is characterized by having large area platform. For obtaining large area efficiency, the actuator part consisting of mainly comb electrodes and springs is placed right below the platform. The structure and operational principle of the MEMS stage are described, followed by a design procedure, structural and modal analyses using FEM(Finite Element Method). The areal efficiency of the MEMS stage was designed to be about 25%, which is very large compared with the conventional ones having a few percentage.
#MEMS stage(MEMS 스테이지) #Probe-based Storage Device(PSD) #Electrostatic actuator(정전형 액추에이터) #Electrostatic force(정전기력)

목차

Abstract
1. 서론
2. 스테이지의 구조 및 구동원리
3. 스테이지의 설계
4. 스테이지의 구조해석 및 모드해석
5. 결론
후기
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