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학술저널
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저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.1 No.1
발행연도
2001.3
수록면
84 - 93 (10page)

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목차

Abstract
I. INTRODUCTION
II. DEVICE CONCEPT OF PROBE-BASED DATA STORAGE
III. STRUCTURE OF ELECTROMAGNETIC MICRO X-Y STAGE
IV. MODAL ANALYSIS OF MICRO X-Y STAGE
V. FABRICATION
VI. MEASUREMENT RESULTS
VII. CONCLUSIONS
REFERENCES

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