대면적 플랫폼을 갖는 Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2 축 MEMS 스테이지

정일진; 전종업

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정일진 전종업

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.23 No.9

발행연도: 2006.9

수록면: 179 - 189 (11page)

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2006

대면적 플랫폼을 갖는 Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2 축 MEMS 스테이지

정일진 , 전종업 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.09 학술저널

대면적 플랫폼을 갖는 Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2축 MEMS 스테이지의 설계

정일진 , 전종업 한국생산제조학회지 2006.06 학술저널

2004

대면적 플랫폼을 갖는 정전형 2 축 MEMS 스테이지의 설계

정일진 , 전종업 , 백경록 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

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Recently the electrostatic 2-axis MEMS stages have been fabricated for the purpose of an application to PSD (Probe-based Storage Device). However, all of the components (platform, comb electrodes, springs, anchors, etc.) in those stages are placed in-plane so that they have low areal efficiencies such as a few percentage, which is undesirable as data storage devices. In this paper, we present a novel structure of an electrostatic 2-axis MEMS stage that is characterized by having a large areal efficiency of about 25%. For obtaining large area efficiency, the actuator part consisting of mainly comb electrodes and springs is placed right below the platform. The structure and operational principle of the MEMS stage are described, followed by a design and analysis, the fabrication and measurement results. Experimental results show that the driving ranges of the fabricated stage along the x and y axis were 27㎛, 38㎛ at the supplied voltages of 65V, 70V, respectively and the natural frequencies along x and y axis were 180㎐, 3 10㎐, respectively. The total size of the stage is about 5.9 × 6.8㎟ and the platform size is about 2.7 × 3.6㎟

#Micro stage(마이크로 스테이지) #Electrostatic actuator(정전형 액추에이터) #Electrostatic force(정전기력) #Probe-based storage device(프로브기반 정보저장기기)

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소속기관 한국정밀공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 4 이용수 182

전종업

소속기관 울산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 52 이용수 4,042

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