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학술저널
저자정보
허신 (한국기계연구원) 정영도 (한국기계연구원) 이영화 (한국기계연구원) 송원준 (한국기계연구원) 김완두 (한국기계연구원)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제31권 제5호
발행연도
2011.10
수록면
522 - 528 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2012

생체모사 마이크로 멀티캔틸레버 음향센서의 제작 및 음향특성측정
허신 ,  곽준혁 ,  정영도 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012.05 학술대회자료

2011

MEMS 기반 생체모사 음향센서 제작 및 주파수 특성 분석
허신 ,  정영도 ,  이영화 외 2명 비파괴검사학회지 2011.10 학술저널

2008

음향센서용 PMN-PT 압전 캔틸레버의 제작 및 특성 측정
허신 ,  이성규 ,  김완두 대한기계학회 춘추학술대회 2008.05 학술대회자료

초록· 키워드

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인간의 청각기능을 보조하거나 대체할 수 있는 차세대 인공와우기술의 개발은 기존 인공와우의 단점인 잦은 충전, 장애 노출 등을 극복하고 향상된 음감을 전달할 수 있는 기술로서 세계적으로 많은 연구를 수행하고 있다. 본 연구에서는 달팽이관의 기저막이 갖는 주파수 분리 기능 및 유모세포(haircell)의 이온채널 작용에 의한 생체 전기신호 발생 기능을 할 수 있는 PVDF(polyvinylidene fluoride) 압전 박막형 인공기저막을 설계, 제작 및 시험평가를 하고자 하였다. 생체 기저막과 유사한 주파수 분리 특성을 갖는 사다리꼴 형상의 인공기저막을 제작하고, MEMS 공정을 이용한 전극 증착 및 유체 유동이 가능한 챔버를 형성하였다. 또한 인공기저막의 거동을 측정하기 위하여 비접촉 LDV측정 장비, 스피커, 기준 마이크로폰 등을 사용하여 실험장치를 구성하였다. 기계적 성능시험 결과, PVDF 압전박막형 인공기저막은 입사하는 음파의 주파수 분리를 잘 수행할 수 있음을 실험적으로 입증하였다.
#생체모사 #청각센서 #압전 #PVDF #공진주파수 #레이저 도플러 진동계 #인공기저막 #Biomimetic #Acoustic Sensor #Piezoelectric #PVDF #Resonant Frequency #Laser Doppler Vibrometer(LDV) #Artificial Basilar Membrane(ABM)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 생체모사 음향센서의 제작 공정 기술
3. 생체모사 음향센서의 측정 평가 기술
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - G. V. Békésy / 1974 / Some Biophysical Experiments from Fifty Years Ago / Annual Review of Physiology 36 : 1 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - L. Robles / 2001 / Mechanics of the mammalian cochlea / Physiological Reviews 81 (3) : 1305 ~ 1352 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - R. D. White / 2004 / Microengineered hydromechanical cochlear model / Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America 102 (5) : 1296 ~ 1301 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - T. Xu / 2004 / Polymeric micro-cantilever array for auditory front-end processing / Sensors and Actuators A: Physical 114 (2) : 176 ~ 182 google schola 5. [학위논문] - M. J. Wittbrodt / 2005 / A life-sized model of the human cochlea: design, analysis, fabrication, and measurements / 박사 / Boston University google schola

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

초소형 MEMS 마이크로폰의 제작공정 및 기전특성 측정 연구
허신 ,  정영도 ,  이영화 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011 .06
MEMS 기술을 이용한 마이크로 음향센서
노용래 대한기계학회 춘추학술대회 2002 .02
안압의 비접촉 검출을 위한 MEMS 기반의 센서 설계
강병주 ,  박종훈 ,  이수현 외 2명 한국정보통신학회논문지 2011 .04
MEMS 마이크로폰의 제작과 A/D 변환신호 특성 측정
이영화 ,  곽준혁 ,  정영도 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2012 .11
MEMS 공정에 의한 LC-공진기형 자기센서의 제작과 응용
김봉수 ,  김용석 ,  황명주 외 1명 한국자기학회지 2007 .06

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