미세탐침기반 기계-화학적 리소그래피공정에 의한 미이크로/나노패턴 제작

성인하; 김대은

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자료유형: 학술저널

저자정보: 성인하 김대은

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제19권 제11호

발행연도: 2002.11

수록면: 228 - 233 (6page)

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