Sub-10 nm 나노임프린트용 몰드와 나노패턴 제작 방법

우주연 ,  조성환 ,  오준호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

ALD 처리된 몰드를 이용한 나노임프린트로 제작한 Sub-10nm 나노패턴

조성환 ,  우주연 ,  한창수

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

대면적 롤 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술

임형준 ,  정상희 ,  이상욱 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

양극산화알루미늄을 이용한 나노-마이크로 패턴의 나노임프린팅

김선준 ,  정연호 ,  신승항 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2018 .04

나노임프린트 리소그래피 공정으로 제작된 생체모사 나노패턴의 세포 생장 활성화

손경성 ,  배원규

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .07

유연소자를 위한 롤 기반 나노임프린트 리소그래피 기술

임형준 ,  권순근 ,  김기홍 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

나노임프린트 리소그래피에서 스핀코팅 조건에 따른 잔류막의 변화에 관한 연구

송준호 ,  신승우 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2023 .04

대면적 Seamless 마이크로 패턴 필름 제조 공정 개발

김우영 ,  김석 ,  조영태

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

나노임프린트공정 기반 나노전사공정을 이용한 나노구조체 제작기술

황순형

고분자 과학과 기술

2020 .04

열 나노임프린트 리소그래피를 이용한 플라즈모닉 나노 구조 전사 및 성형 공정 연구

김준현 ,  이진경 ,  정명영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

나노 임프린트를 이용한 양자점 나노 패턴 필름 제작

신상호 ,  정준호 ,  황보연 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Step-and-repeat 나노임프린트 리소그래피 공정의 수율 향상을 위한 연구

송현우 ,  윤혜진 ,  이주헌 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

나노 임프린트 3D 폴리머 구조물상의 ZnO 나노와이어의 열수 합성

박수연 ,  Sean A. Moo ,  e 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

알루미늄 박 및 플레이트 표면 미세 패터닝을 위한 상온 임프린팅 기술

박태완 ,  김승민 ,  강은빈 외 1명

마이크로전자 및 패키징학회지

2023 .06

The Fabrication of Sub-10nm Nanopattern Array Using Nanoimprint Lithography with ALD-treated Template

조성환 ,  우주연 ,  한창수

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

복합 기능 구현을 위한 마이크로/나노 계층구조 공정 개발

여나은 ,  김두인 ,  정명영

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

양면 열-나노임프린트를 이용한 극저반사 필름 제조

심영보 ,  여나은 ,  조상욱 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

나노각인 및 저온 롤프린팅 연속공정기반 유연 탈부착 나노패턴 패치 개발

이승조 ,  오동교 ,  고평삼 외 8명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .05

Experimental study on long-term water resistance of micro-patterns

박서림 ,  오승민 ,  김석 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .05

패턴과 패턴의 정렬을 위한 장비설계

이태경 ,  서보욱 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12