수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

증착 균일도를 고려한 회전형 CVD 장치의 최적 운전조건 탐색

이중호 ,  곽호상 ,  김동주

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2012 .11

CVD 반응기내 기체유동의 균일성 향상에 관한 수치적 연구

김유재 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

대구경 회전 증착에 관한 CVD 반응기 내부의 열물질 해석연구

이성봉 ,  장혁 ,  김광선 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2000 .06

CVD에 의한 SnO₂ Film 제조시 증착조건이 Film의 증착속도 및 물리적 성질에 미치는 영향

이동윤 ,  이상래

한국표면공학회지

1985 .09

화학증착 챔버 형상이 성능에 미치는 영향

박경우 ,  권정태 ,  박상린 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .11

CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

민재식 ,  이원준 ,  라사균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

반응기판의 회전 속도에 따른 CVD 반응기 내의 유동 특성과 증착률에 관한 수치적 연구

백재상 ,  부진효 ,  한전건 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

회전식 화학증착 장치의 높은 증착 효율을 위한 최적 형상 전산해석연구

박장진 ,  김경진 ,  곽호상

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2013 .10

CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 열 및 물질 전달 특성 연구

차관 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .09

SnO₂ 박막증착을 위한 APCVD Reactor 내 유량 균일도 향상에 대한 수치 해석적 연구

박준우 ,  윤익로 ,  정하승 외 3명

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2010 .05

펄스 레이저 증착법에 의한 (Pb_0.72La_0.28)Ti_0.93O₃ 박막의 증착

은동석 ,  박정흠 ,  이상렬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

NUMERICAL SIMULATION OF TRANSPORT PHENOMENA IN Cu MOCVD VERTICAL REACTOR

Chung ,  Won-Young

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

COMSOL을 이용한 SHOWERHEAD 형상에 따른 증착률 및 균일도에 관한 연구

권동령 ,  손황진 ,  조영태 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

Fe₃O₄ 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화

정지윤 ,  김윤재 ,  정윤교 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )

이시우 ,  김원규

전자공학회지

1988 .08

Numerical Study on Silicon CVD in Horizontal Reactors

U. Na ,  usawa

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05