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대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제26권 제3호
발행연도
2002.3
수록면
410 - 416 (7page)

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2002

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )
김인 ,  백병준 대한기계학회 논문집 B권 2002.03 학술저널

2000

화학기상 성장법에 의한 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Nemerical Analysis of Silicon Deposition in CVD Reactor )
김인 ,  백병준 ,  윤정모 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2000.01 학술대회자료

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