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This paper reports a development of a novel AFM cantilever as a highly sensitive sensor and an application of the cantilever into various mechanical tests for characterizing micro/nano-structures. Using single crystal silicon micromachining techniques, we have designed and fabricated rhombus-shaped symmetric AFM probes. After force-calibration of the cantilever, adhesion test was performed. Adhesive force between silicon tip and Cyclic Olefin Copolymer (COC) nano-fiber arrays was measured using the cantilever with a flat tip. Fiber’s diameter was approximately 200 ㎚. The obtained result exhibited the usual characteristics of force curves of COC nano-fiber arrays, in which a pull-off force was detected at the point of unloading.

목차

Abstract
1. 서론
2. 점착력 측정
3. 결과 및 토의
4. 결론
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