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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
1,716 - 1,720 (5page)

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In the previous works, the success of rhombus-shaped AFM　cantilever manufactured by standard MEMS process has been already proved by performing mechanical bending tests at a micro/nano-scale. In this paper, nano-newton scale adhesive force between micro/nano hair structure and silicon tip is measured by AFM at the atmospheric condition. A nano-hair structure of cyclic olefin copolymer (COC) is fabricated using an anodized aluminum oxide template. The diameter and the length of the nano-hair are approximately 150 ㎚ and 10 ㎛, respectively. This paper outlines a research process that encompasses: 1) design and fabrication of a symmetric rhombus-shaped AFM cantilever, 2) fabrication process of a polymeric nano-hair structure, and 3) adhesion test of nano-hair structure using the manufactured cantilever.
#AFM(Atomic Force Microscope, 원자현미경) #Rhombus-shaped cantilever(마름모꼴 캔틸레버) #Adhesive force(점착력) #Nano-hair(나노섬모)

목차

Abstract
1. 서론
2. AFM 캔틸레버 설계 및 제작
3. 점착력 측정 시험
4. 결론
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