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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.10
수록면
1 - 5 (5page)

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Polymeric structures have been utilized in many Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMSs), especially for bio and medical applications. They are in contact with other structures for various purposes, such as supporting structures, making intrusion, applying force, masking for etching process, etc. One of the key properties to be considered is adhesion force of the polymeric structure, which can affect the reliability of the mother devices or can be a critical parameter for designing mechanical functions of the devices. In this study, SU-8 is chosen as a sample material because of its widespread usage in MEMS applications. The adhesion force is measured using a spherical sapphire indenter. The indenter is impressed into the sample, and then is retracted under a prescribed velocity. The rate-dependent adhesion of polymeric structures is reported with regard to retraction velocity.
#Adhesion force(점착력) #Polymeric structure(폴리머 구조물) #MEMS(미소기전시스템) #Rate-dependency(속고의존성) #Indentation apparatus(압입 시험 장치)

목차

Abstract
1. 서론
2. 접착력 측정 시험
3. 플리머 시험편 제작
4. 시험 결과 및 토의
5. 요약 및 결론
후기
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016063672