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학술대회자료
저자정보
박영근 (엠투엔) 황규호 (엠투엔) 성우경 (전자부품연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
105 - 109 (5page)

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Nano probe with Si tip, PR sensor for displacement sensing which is actuated by piezoelectric mateteial(PZT) was designed. Unit process for fabricating the nano probe were developed. By integrating unit process, the nano probe was fabricated. The displacement of nano probe with applied voltage was measured. And array nano probe was fabricated by expanding unit nano probe.
#Nano Probe(나노프로브) #Piezoelectric layer(압전막) #PR sensor(압저항 센서)

목차

Abstract
1. 서론
2. 나노 프로브 설계
3. 나노 프로브의 제조
4. 결론
후기
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