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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.4
- 수록면
- 314 - 315 (2page)
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나노 스케일의 구조물은 반도체, 바이오 등의 여러 가지 연구 분야에서 폭넓게 사용되고 있다. 하지만 나노 구조물의 제작은 여전히 복잡한 공정을 필요로 하고 비용 또한 많이 든다. 따라서 본 연구에서는 형상 기억 폴리머를 나노 임프린트 리소그래피몰드로 이용하여 스케일 다운 과정을 통해 나노 구조물 제작 방법을 제안하였다. 형상 ... 전체 초록 보기
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