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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.8 No.2
발행연도
2007.4
수록면
80 - 84 (5page)

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We propose a new displacement measurement method using a phase modulation homodyne interferometer and a tunable laser diode as a light source to determine an arbitrary length with a resolution in the order of 10 pm. In the proposed instrument, the displacement of a movable mirror in the interferometer can be converted to a frequency shift of the tunable laser diode. We discuss the principles of the proposed method, the instrumentation, and the experimental results, and compare the proposed method with two commercial displacement sensors. The commercial sensors used are a heterodyne interferometer, the interpolation error of which is also measured, and a capacitive sensor.
#Interferometer #Phase-modulation #Homodyne #Tunable laser diode #Frequency #Picometer

목차

1. Introduction
2. Principles and Instrumentation
3. Experiment
4. Conclusion
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - //public / / International Technology Roadmap for Semiconductors google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1993 / Recent Advances in Displacement Measuring Interferometry google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Wu, C / 1999 / Heterodyne Interferometer with Subatomic Periodic Nonlinearity 38 (12) : 4089 ~ 4094 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Badami, V. G / 2000 / A Frequency Domain Method for the Measurement of Nonlinearity in Heterodyne Interferometer 24 ( ) : 41 ~ 49 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Basile / 1991 / Phase Modulation in High-resolution Optical Interferometry google schola

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