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마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성되어진 비정질 탄소박막들의 구조적, 물리적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2007 .03
DC magnetron sputtering을 이용하여 증착한 ZnO 기반의 박막 트랜지스터의 특성 및 stability 향상을 위한 후열처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
rf-magnetron sputter 증착기술을 이용한 태양전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
DC MAGNETRON SPUTTERING 법에 의한 IT 로 제작한 ITO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
RF magnetron sputtering으로 증착한 비정질 InGaZnO 박막의 광학적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
DC Magnetron Sputtering 방법으로 증착한 Fe-N 박막의 구조와 자기적 성질
한국자기학회지
1993 .06
DC magnetron sputtering을 이용하여 증착한 SnO₂ 기반의 박막 트랜지스터의 전기적 및 광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
Negative Metal Sputter (DC sputtering)를 이용하여 증착된 MgO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
PES 기판위에 Sputter 증착된 비정질 실리콘 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Magnetron sputtering으로 증착한 Au박막의 annealing 온도에 따른 전도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
DC/RF Magnetron Co-Sputter를 이용하여 성막한 유기 태양 전지용 Si-Doped In₂O₃ (ISO) 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 Ni - Zn Ferrite 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
DC Reactive Magnetron Co-Sputtering 방법을 이용한 Cu-TiN Composite 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Modulated Sputtering System (MSS)을 이용한 박막 증착 및 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
DC / RF Magnetron Sputtering Deposition법에 의한 TiSi₂ 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 동적증착에 의한 zigzagged structure의 Al:ZnO 박막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
열처리가 비정질 탄소박막의 원자구조 변화에 미치는 영향에 대한 분자동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
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