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저자정보
이성현 (한국전자통신연구원) 윤선진 (한국전자통신연구원) 김제하 (한국전자통신연구원) 임정욱 (한국전자통신연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
273 - 273 (1page)

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