DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구

최은석; 송영식; 조용기; 문경일; 김종렬

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저자정보: 최은석 송영식 조용기 문경일 김종렬

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제28회 학술발표회초록집

발행연도: 2005.2

수록면: 153 - 153 (1page)

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