Magnetron sputtering으로 증착한 Au박막의 annealing 온도에 따른 전도 특성

최혁철; 유천열

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최혁철 유천열

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 169 - 169 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-016965697

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