DC MAGNETRON SPUTTERING 법에 의한 IT 로 제작한 ITO 박막의 특성

박장식 ,  황상연 ,  이수선 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

RF magnetron sputtering법으로 성장시킨 ZnO박막의 광특성과 grain size의 영향에 관한 연구

김경국 ,  박성주 ,  정형진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

다용도 DC / RF 스퍼터링 시스템 설계

김명길 ,  유운종

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

DC/RF Magnetron Co-Sputter를 이용하여 성막한 유기 태양 전지용 Si-Doped In₂O₃ (ISO) 박막의 특성 연구

이혜민 ,  강신비 ,  정권범 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구

최은석 ,  송영식 ,  조용기 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구

권지선 ,  최재웅 ,  이창현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

RF magnetron sputtering으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성

정성진 ,  김덕규 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석

도승우 ,  장철영 ,  이용현

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

RF Magnetron Sputtering법에 의한 결정성 MgO 박막의 형성과 Plasma Damage 현상

손충용 ,  조진희 ,  박정원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

반응성 RF Magnetron Sputtering법으로 제조된 AlN박막의 증착 변수들이 굴절율에 미치는 영향

남창길 ,  최승우 ,  조동율 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

RF-Magnetron Sputtering System을 이용한 Bi-layer PZT박막제작과 특성평가

정상묵 ,  임실묵

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02