RF 마그네트론 CO-Sputtering 시스템을 이용하여 증착된 TiAlNX 박막의 최적 공정 및 박막 특성 연구

박창환 ,  권지선 ,  장부성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구

진창현 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석

장부성 ,  이창현 ,  박창환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

고효율 이종접합 태양전지를 위한 RF magnetron sputter로 증착한 ITO:Zr 박막에 관한 연구

Junyoung Kang ,  S. Q. Hussain ,  Anh Le Tuan Le 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

Deok Kyu Kim ,  Hong Bae Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .11

Fabrication of TiO2 thin films for perovskite solar cell using RF magnetron sputter

Kyungjin Cho ,  Seunghun Lee ,  Seongtak Kim 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

구리 극박막 증착 기술에 관한 연구

서민 ,  한승주 ,  이덕훈 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Texture and microstructure development in hydroxyapatite coatings deposited by means of RF-magnetron sputtering

Anna IVANOVA ,  Ma ,  ia SURMENEVA 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 CaWO₄:Dy³⁺ 박막의 광학, 구조, 표면 특성

조신호

새물리

2023 .10

The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Effect of H₂S Mixed Gas on the Properties of SnS Thin Films and Solar Cells Prepared by RF Magnetron Sputtering

이상운 ,  이승곤 ,  신동혁 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Electrical and optical properties of Ga-doped ZnO thin films prepared by RF magnetron Co-sputtering systems

Nam-Jung KIM ,  Naeho SHIN ,  Chang-Su HWANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Characteristics of ZnS Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Room Temperature for Buffer Layer Application in Thin Film Solar Cells

김준아 ,  박정환 ,  한태구 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Enhanced efficiency of perovskite solar cell by application of uniform TiO₂ blocking layer deposited by RF magnetron sputtering

Kyungjin Cho ,  Seunghun Lee ,  Seongtak Kim 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering

David RUZIC ,  P ,  iya RAMAN 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Coercivity field control using magnetron sputtering energy

Changjin Yun ,  Jiho Kim ,  Kungwon Rhie 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .11

RF-Magnetron sputtering법을 이용한 ZnO buffer layer가 ZnO:(Al,P) 박막의 미세구조에 미치는 영향

신승학 ,  김종기 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02