Characterization of ALD (HfO2)x(SiO2)1-x dielectrics on p-Si(100)

H. Jin; H. J. Kang; M.-H. Cho

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: H. Jin H. J. Kang M.-H. Cho

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제31회 학술논문발표회 초록집

발행연도: 2006.8

수록면: 138 - 138 (1page)

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