Energy loss function and inelastic scattering cross-section of ultrathin HfO₂, Al₂O₃ and Hf-Al-O films on Si(100)

김화; 강희재

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저자정보: 김화 강희재

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제30회 학술논문발표회 초록집

발행연도: 2006.2

수록면: 91 - 91 (1page)

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