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논문 기본 정보

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저자정보
김완수 (광주과학기술원) 이동진 (광주과학기술원) 이선규 (광주과학기술원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제34권 제11호
발행연도
2010.11
수록면
1,613 - 1,622 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2010

고진공 환경중 고출력 초음파 모터 이송 스테이지의 나노미터 위치 제어
김완수 ,  이동진 ,  이선규 대한기계학회 논문집 A권 2010.11 학술저널
고진공 환경에서 하이브리드 타입 초음파 리니어 모터의 나노미터 모션 제어
김완수 ,  이동진 ,  이선규 대한기계학회 춘추학술대회 2010.06 학술대회자료
진공환경에서 하이브리드 초음파 리니어 모터의 진동모드 매칭에 관한 연구
김완수 ,  이동진 ,  이선규 대한기계학회 춘추학술대회 2010.04 학술대회자료

2008

진공용 초음파 리니어 모터의 강건설계 및 제어
김완수 ,  윤철호 ,  차현록 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구는 고진공 환경중 초음파 리니어 스테이지의 나노미터 위치제어를 기술하고 있다. 고진공 환경 중 초정밀 위치 제어 시스템에 응용하기 위해 3 차 종진동 모드와 6 차 횡진동 모드를 가지는 BLT를 개발 했다. 안정적인 고출력을 위해 BLT 는 하나의 공진 주파수로 두 개의 모드 진동을 발생 시켜야한다. 하나의 공진 주파수를 이용 하기 위해 어드미턴스를 변화시켜 각 모드의 공진 주파수를 일치시켜 조건이 다른 대기 환경에서 안정적인 고출력을 얻을 수 있었다. 기압 변화에 따라 구동 특성이 달라지는 시스템을 제어하기 위해 마찰력 변화에 따른 비선형 특성을 보상한 NCTF 제어를 사용했다. 설계된 제어기를 이용해 고진공 환경에서 시스템을 나노미터 정도로 제어하는 결과를 얻을 수 있었다.
#Ultrasonic Linear Motor(초음파 리니어 모터) #Vacuum Environment(진공 환경) #Contact Stiffness(접촉 강성) #Frequency Matching (주파수 매칭) #Friction(마찰)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 시스템 구동원리 및 구성
3. Hybrid type BLT 의 주파수 매칭
4. 진공환경중 초정밀 제어
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (18)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Morita, T / 2002 / Rotational Feedthrough Using Motor for High Vacuum Condition / Vacuum 65 : 85 ~ 90 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Morita, T / 2003 / Rotational Feedthrough Using an Ultrasonic Motor and Its Performance in Ultra High Vacuum Conditions / Vacuum 70 : 53 ~ 57 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Beckert, E / 2001 / Development of a Vertical Wafer Stage for High Vacuum Application / Microelectronic Engineering 57 : 207 ~ 212 google schola 4. [단행본] - Ueha, S / 1993 / Ultrasonic Motors Theory and Applications / Oxford Science Publications google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Choi, B. H / 2000 / Force / Torque Control of Ultrasonic Motor with PWM Driving Method / Trans. of the KSME (A) 24 (11) : 2723 ~ 2731 dbpia

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김완수 ,  이동진 ,  이선규 대한기계학회 춘추학술대회 2010 .04

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