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반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 BST 박막의 구조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
고주파 스퍼터링 방법으로 금속기판 위에 증착된 AlN박막의 질소가스 분압비에 따른 경도와 박막 표면의 배향성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의하여 증착한 AlN와 ZnO 박막의 성장기구에 관한 투과전자현미경 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
Growth of AlN Thin Film on Sapphire Substrates and ZnO Templates by RF-magnetron Sputtering
Applied Science and Convergence Technology
2010 .01
이온빔 - 보조 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
마그네트론 스퍼터링법에 의해 저온 증착된 ITO 및 IZO 박막에 대한 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
산소 유량비 변화에 따른 AlN 박막의 구조, 표면 및 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2010 .07
DC 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 TaN 박막의 특성 및 신뢰성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
듀얼 마그네트론 스퍼터링를 이용한 ITO 박막 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
폴리머 애자의 자기세정 응용을 위한 듀얼 마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 증착되어진 TiOx 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CdS박막의 기판 온도와 열처리 온도 변화에 따른 구조적 및 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
듀얼 펄스 마그네트론 스퍼터링 방법으로 합성된 ITO 박막의 특성 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
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