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RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 bismuth telluride 열전박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 BST 박막의 구조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 FeSu₂ 박막의 기판 온도에 따른 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 광학용 TiNx 박막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
RF-마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 다층구조의 마그네타이트 에피 박막성장의 최적화에 대한 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2015 .05
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AlN 박막의 기판 온도 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 SnS 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
폴리머 애자의 자기세정 응용을 위한 듀얼 마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 증착되어진 TiOx 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
듀얼 마그네트론 스퍼터링를 이용한 ITO 박막 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
rf-마그네트론 스퍼터링 성장압력이 인이 도핑된 p형 산화아연 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : Al 투명도전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Ti 박막의 광학적 성질 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 IGZO 박막의RF Power에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
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