RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구

김주현 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Characteristics of ZnS Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Room Temperature for Buffer Layer Application in Thin Film Solar Cells

김준아 ,  박정환 ,  한태구 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Reproducible bias-induced resistance switching in CoO_x thin films prepared by a RF sputtering method

June Sik Kwak ,  Young Ho Do ,  Yoon Cheol Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

반응성 RF Magnetron Sputtering법으로 제조된 AlN박막의 증착 변수들이 굴절율에 미치는 영향

남창길 ,  최승우 ,  조동율 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

복합타게트법을 사용한 고주파 마그네트론 스퍼터링에서의 코발트 - 초기천이금속계박막의 조성 변화

김희중 ,  한석희 ,  강일구

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .11

스파터링(Sputtering)법으로 증착된 텅스텐(W) 게이트(Gate) 금속의 열처리 전후 영향에 대한 연구

윤영수 ,  노용한 ,  노관종 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

RF Magnetron Sputtering법으로 제작된 (Pb_0.92La_0.08)(Zr_0.65Ti_0.35)O₃ 박막의 Ar/O₂ 분압비에 따른 강유전 특성연구

김상지 ,  윤지언 ,  황동현 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2009 .03

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

다용도 DC / RF 스퍼터링 시스템 설계

김명길 ,  유운종

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 Ni - Zn Ferrite 박막의 물성 연구

공선식 ,  조해석 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 IGZO 박막의RF Power에 따른 특성

장야쥔 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Study on Optical and Electrical Properties of IGZO Thin Film According to RF Power Fabricated by RF Magnetron Sputtering

장야쥔 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Deposition of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Characterization of Their Properties on Different O₂ Concentrations

S. H. Jeong ,  Y. S. Shin ,  I. S. Bae 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02