Silicon nitride cleaning by F₂ / Ar remote plasma processing

J. Y. Hwang ,  S. C. Kang ,  N. E. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Formation of Graphene-Seeds on Silicon Nitride Using Chemical Vapor Deposition

강도연 ,  박세근 ,  이준영 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

c - C₄F8O를 이용한 Si₃N₄ CVD 챔버 세정 시 배출된 PFCs에 관한 연구

김기준 ,  오창현 ,  김지황 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Highly selective etching of silicon nitride to CVD a-C in dual-frequency capacitively coupled CH₂F₂/H₂plasmas

김진성 ,  권봉수 ,  안정호 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

High Density Plasma Nitrogen Implantation을 이용한 Silicon Nitride 형성

김태호 ,  김형석 ,  김지영

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

C₄F8 / O₂ / (N - based additives)를 이용한 ICP - type의 remote plasma silicon nitride PECVD chamber 세정 시 발생되는 global warming gas 저감에 관한 연구

김지황 ,  배정운 ,  오창현 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Growth and NO₂ sensing properties of CS₂SnI₆ thin film synthesized by non-solution method

Phung Dinh Hoat ,  Hyojun Lim ,  Pham Tien Hung 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Expanding Thermal Plasma CVD of Silicon Thin Films and Nano-Crystals : Fundamental Studies and Applications

Richa ,  d van de Sanden

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Optical properties of silicon nitride films by plasma - enhanced chemical vapor deposition

Changhun Ko ,  Chlyoung Ham ,  Heesoo Han 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Cyclic Dry Cleaning Process of silicon oxide using OF₂/NH₃ Mixture Gas

길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Production of Diamond Below 100℃ - By Plasma CVD Technique -

Akio Hi ,  aki

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Direct synthesis of Graphene/Boron nitride stacked layer by CVD on Cu foil

Youngwoong Moon ,  Jonghyun Pa ,  k 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride

Seunghun Han ,  Byung hyun Oh ,  Heeyeop Chae

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Reaction Modeling on Titanium Nitride Byproducts in CVD Trap System

Seongho Choi ,  Changhyun Pang ,  Chehoo Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Gallium Nitride Nanoparticle Synthesis Using Non-thermal Plasma with N2 Gas

유광호 ,  김정형 ,  유신재 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

챔버를 이용한 농작지로부터의 기체배출량 측정과 배출특성연구 : 일산화질소 (NO)와 아질산가스(N₂O)의 배출량산정 ( Measurements of Gases Emissions from Agricultural Soils and Their Characteristics with Chamber Technique : Emission of NO and N₂O )

김득수

한국대기환경학회지(국문)

2001 .04

챔버를 이용한 농작지로부터의 기체배출량 측정과 배출특성 연구 : 일산화질소 ( NO )와 아질산가스 ( N₂O )의 배출량산정 ( Measurements of Gases Emissions from Agricultural Soils and Their Characteristics with Chamber Technique : Emission of NO and N₂O )

김득수 ,  오진만 ,  고현석 외 1명

한국대기환경학회 학술대회논문집

2000 .11

Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride

Luchana L. YUSUP ,  Jae-Min PARK ,  Ti 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Characterization of Low Stress Silicon Nitride for Stacked structure application

Kyoung Pil Na ,  So-Yeon Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08