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On - line FT - IR monitoring을 통한 Si₃N₄ 챔버 세정 후 배출된 PFC 가스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
C₄F8을 Feed Gas로 사용한 Silicon Nitride CVD 챔버의 Remote Plasma Cleaning 시 배출 가스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
CVD - W/p - Si0.83Ge0.17 / Si(001)의 전기적 및 계면적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
CO₂ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Gas-MS를 이용한 PFCs 분석법 개발 ( Development on analytical method for PFCs by Gas-MS )
한국대기환경학회 학술대회논문집
1999 .05
KSTAR 제1벽 세정을 위한 방전세정계 설계
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
원자력시설 PFC 제염 시 발생하는 PFC 폐액을 재사용하기 위한 여과장치 개발
한국대기환경학회 학술대회논문집
2007 .05
PFCs 분해시 발생되는 입자상 물질의 특성
한국대기환경학회 학술대회논문집
2013 .08
Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (<200 ℃) by Catalytic CVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
반도체 및 디스플레이 세정 공정용 CO₂ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
워터젯 플라즈마를 이용한 PFCs 분해 특성
한국대기환경학회 학술대회논문집
2010 .10
열진공 챔버 내의 불균일한 열환경이 시편에 미치는 영향에 관한 수치적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
상압 CVD를 이용한 a - Si TFT의 수소화 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
위글러용 진공 챔버 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Growth and NO₂ sensing properties of CS₂SnI6 thin film synthesized by non-solution method
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO<sub>2</sub>/Si
Carbon letters
2017 .01
화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술
진공이야기
2014 .09
열진공챔버 열제어시스템 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
RF / DC 방전을 이용한 고 진공용SUS 용기세정에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2001 .10
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