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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2001.7
- 수록면
- 153 - 154 (2page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2001
Reactive ion etching of GaAs, AlGaAs, and InGaP in Cl₂and CCl₂F₂ plasmas with Ar and H₂ addition
Jae Su Yu
,
Seong Ju Bae
,
Jin Dong Song
외 2명
한국진공학회 학술발표회초록집
2001.07
학술대회자료
Reactive Ion Etching of InP and InGaP using Cl₂ gas with CH₄ and Ar Addition
Jae Su Yu
,
Jin Dong Song
,
Seong Ju Bae
외 2명
한국진공학회 학술발표회초록집
2001.02
학술대회자료
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