The optimize of chamber recovering conditions in plasma etching processes

Young-Hee JOO ,  Chang-Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

반도체 etching source의 기술 및 연구 동향

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Study on etching-shape of ZnO Film by wet-chemical etching

Dong Geun Yoo ,  Myoung Hwa Kim ,  Seong Hun Jeong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Improved Production of Long-Chain Fatty Acid in Escherichia coli by an Engineering Elongation Cycle During Fatty Acid Synthesis (FAS) Through Genetic Manipulation

Jeon ,  Eunyoung ,  이선희 외 4명

Journal of Microbiology and Biotechnology

2012 .01

Selective Etching of Magnetic Layer Using CO/NH₃ in an ICP Etching System

J. Y. Pa ,  k ,  S.-K Kang 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Etching Characteristics of Au Film using Capacitively Coupled CF4/Ar Plasma

Kim ,  Gwang-Beom ,  Hong 외 1명

동굴

2007 .01

Plasma Dry Etching 방법에 의한 Wafer Backside Etch 특성 평가

한영기 ,  서영수 ,  유재하 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

ETCHING TIME DEPENDENCE OF MAGNETIC PROPERTIES IN ONE SIDE ETCHED Co - BASED RIBBON

Lan Jin ,  CheolGi Kim ,  SeokSoo Yoon 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .06

원자층 식각기술

염근영

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Nano-Indenter 측정 결과를 Weibull 분포로 해석한 ACP 플라즈마 소스의 플라즈마 에칭 조건에 따른 균일도 연구

김수인 ,  이재훈 ,  김홍기 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Capacitively Coupled Plasma Source를 이용한 Etcher의 상부 전극 온도 변화에 따른 Etch 특성 변화 개선

신한수 ,  노용한 ,  이내응

Applied Science and Convergence Technology

2011 .09

TCP(Transformer Coupled Plasma)를 이용한 RF Sputter Etch Chamber 제작 및 특성에 관한 연구

이원석 ,  이진호 ,  김현수 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

C₃F₆O 가스를 이용한 SiO₂에 대한 식각 특성 분석

김선웅 ,  양경채 ,  이호석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Nano-Indentation 분석 기법을 활용한 플라즈마 식각 후 박막 표면의 물성 변화를 기반으로 정량적인 damage 제시 연구

김수인 ,  이재훈 ,  김홍기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

RIE Damage Remove Etching Process for Solar Cell Surface Texturing Using the TMAH Etching

오정화 ,  공대영 ,  조준환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Satistical Analysis of SiO₂ Contact Hole Etching in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Reactor

Chunli Liu ,  B. Sh ,  aune

Journal of Magnetics

2010 .09

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

Expression and Characterization of Polyketide Synthase Module Involvedin the Late Step of Cephabacin Biosynthesis from Lysobacter lactamgenus

Lee ,  Ji Seon ,  Miglena G. Vladimi 외 5명

Journal of Microbiology and Biotechnology

2008 .01

Etch Characteristics of FePt Magnetic Thin Films Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching

Eun Ho Kim ,  Yu Bin Xiao ,  Hwa Won Lee 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12