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김수인 (국민대학교) 이재훈 (국민대학교) 김홍기 (국민대학교) 김상진 (국민대학교) 서상일 (국민대학교) 황병현 (국민대학교) 오상룡 (국민대학교) 김남헌 (국민대학교) 이창우 (국민대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제49회 하계정기학술대회초록집
발행연도
2015.8
수록면
176 - 176 (1page)

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2015

Nano-Indenter 측정 결과를 Weibull 분포로 해석한 ACP 플라즈마 소스의 플라즈마 에칭 조건에 따른 균일도 연구
김수인 ,  이재훈 ,  김홍기 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

2007

식각공정에서의 플라즈마 충격에 의한 세정액활성화 연구
김수인 ,  이창우 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

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#TEOS SiO₂ #Adaptively Coupled Plasma (ACP) #Nano-indenter #Weibull 분포

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