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이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
실리콘 나노결정의 크기와 밀도에 따른 비휘발성 실리콘 나노결정 메모리 소자의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
실리콘 나노 결정이 포함된 실리콘 질화물 박막의 광반응성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Thermal - CVD를 이용한 미세결정성 carbon 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
CVD를 이용한 산화아연 (ZnO) 나노구조 형성 및 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
ICP - CVD로 증착된 a-C : F 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Cluster tool system을 이용한 비정질 / 나노결정 실리콘 하이브리드 박막 태양전지 동작특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Thermal CVD를 이용한 탄소 나노튜브의 합성
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
Cat-CVD법을 이용하여 다양한 제막압력 조건에서 증착된 PTFE(polytetrafluoroethylene) 박막의 소수성 평가에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
CVD에 의한 Ta₂O5 박막의 성장및 물성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
열 CVD에서 온도변화에 따른 탄소나노튜브의 성장 및 구조특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
유도결합플라즈마를 이용한 실리콘 나노입자 박막 물성변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
실리콘 박막의 고온고상 결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
실리콘 옥사이드와 실리콘 나이트라이드 다층 박막에서의 실리콘 나노 클러스터와 어븀의 상호작용 거리에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
시뮬레이션을 통한 실리콘 나노선의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
실리콘 박막을 이용한 가속도센서 제조기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
실리콘 박막 증착을 위한 열필라멘트 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 나노입자 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
화학기상증착법(CVD)을 이용한 진공 박막 공정기술
진공이야기
2014 .09
실리콘 나노점을 이용한 전계방출 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
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