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UHV - CVD와 UHV - ECRCVD를 이용한 게이트용 다결정 SiGe 박막 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
UHV - ECRCVD에 의한 Si과 SiGe 에피막의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
UHV - ECRCVD에 의한 SiGe / Si 이종접합 다이오드
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Low - temperature Si epilayer growth by UHV - ECRCVD on LOCOS patterned wafer
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
ECRCVD법에 의한 저유전율 a-C:F 층간절연막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
SiH₂Cl₂와 NH₃를 이용하여 원자층 증착법으로 형성된 실리콘 질화막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
저압에서의 사일렌과 디사일렌의 열분해 반응에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1995 .12
초고진공 전자 사이클로트론 화학 기상 증착 장치에 의한 저온 실리콘 에피 성장에 기판 DC 바이어스가 미치는 영향
Applied Science and Convergence Technology
1993 .12
상압 플라즈마를 이용한 저온 증착 공정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Characteristics of Oxide Films Deposited with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition at Low Temperatures From SiH₄-N₂O
Applied Science and Convergence Technology
1994 .12
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
NH₃/N₂/SiH₄ 유도결합 플라즈마 방전에서 중성종 및 활성종의 플라즈마 변수 의존성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
저온 대기압 플라즈마 발생 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
UHV 시스템 및 FED Test 장비
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
평판형 유도결합 플라즈마 장치의 SiH₄/H₂ 방전에 대한 공간 평균 전산모사
Applied Science and Convergence Technology
2009 .11
Process Optimization of PECVD SiO2 Thin Film Using SiH4/O2 Gas Mixture
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Internal Antenna-type 유도결합플라즈마 장치를 이용한 나노결정질 실리콘 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상 증착 장치에서 기판 DC 바이어스가 in situ 플라즈마 세정및 저온 실리콘 에피 증착에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
내장형 유도결합 플라즈마 소스를 이용한 나노 다결정 실리콘 증착 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
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