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SiH₂Cl₂와 NH₃를 이용하여 원자층 증착법으로 형성된 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2004 .09
원자층 증착법으로 형성된 실리콘 산화막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
200℃에서 PECVD로 증착한 실리콘질화막의 특징
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
질소 플라즈마를 이용한 실리콘 질화막의 제작 및 실리콘 질화막과 실리콘구조의 계면분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
저압에서의 사일렌과 디사일렌의 열분해 반응에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1995 .12
UHV ECRCVD에 의한 SiH₄ / H₂ 플라즈마를 이용한 저온 실리콘 에피 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
PECVD법에 의한 비정질 실리콘 질화막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
다양한 섬유 위에서 원자층 증착법으로 증착된 백금의 표면 반응 메커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
원자층 증착법을 이용한 ZnO 트랜지스터
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
Ta(OC₂H5)5와 NH₃를 이용한 탄탈륨 산화막의 원자층 단위 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Characteristics of Oxide Films Deposited with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition at Low Temperatures From SiH₄-N₂O
Applied Science and Convergence Technology
1994 .12
원자층 증착법에 의한 구리 박막 성장에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Process Optimization of PECVD SiO2 Thin Film Using SiH4/O2 Gas Mixture
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
여윔증 넙치, Paralichthys olivaceus의 증상에 대한 병태생리학적 고찰
한국어병학회지
2011 .01
4-크로로-4'-메톡시-2-니트로디페닐아민의 X-선 결정 및 분자구조 결정
한국결정학회지
1991 .01
실리콘 박막 태양전지에 관한 SiH4 와 GeH4의 물성데이터 비교에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
금속산화물 원자층 증착법을 이용한 전자섬유 색 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
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