초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상 증착 장치에서 기판 DC 바이어스가 in situ 플라즈마 세정및 저온 실리콘 에피 증착에 미치는 영향

태홍식; 황석희; 박상준; 윤의준; 황기용

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저자정보: 태홍식 황석희 박상준 윤의준 황기용

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제6회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1994.2

수록면: 38 - 39 (2page)

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