UHV - ECRCVD에 의한 Si과 SiGe 에피막의 전기적 특성

황석희 ,  윤의준 ,  황기웅

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

UHV - CVD와 UHV - ECRCVD를 이용한 게이트용 다결정 SiGe 박막 증착에 관한 연구

박진원 ,  임승현 ,  여환국 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Low - temperature Si epilayer growth by UHV - ECRCVD on LOCOS patterned wafer

여환국 ,  박진원 ,  황기현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Si / SiGe Epitaxial Growth by UHV - CVD

송석찬 ,  임승현 ,  이승윤 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

UHV ECRCVD에 의한 SiH₄ / H₂ 플라즈마를 이용한 저온 실리콘 에피 증착에 관한 연구

태흥식 ,  황석희 ,  박상준 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

ECRCVD법에 의한 저유전율 a-C:F 층간절연막의 특성

박정원 ,  손세일 ,  양성훈 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

SiO₂ 계면층이 n-ZnO/p-Si 이종접합 다이오드 특성에 미치는 영향

김창민 ,  이병호 ,  이황호 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

산소 플라즈마 전처리가 n-ZnO/p-Si 이종접합 다이오드의 특성에 미치는 효과

김창민 ,  이황호 ,  이병호 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Polycrysatlline SiGe Layers Grown by UHV - CVD

박진원 ,  여환국 ,  임승현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

MoS₂/Si와 WS₂/Si 이종접합 다이오드 전류-전압 특성의 온도 의존성

최동례 ,  권소영 ,  송정은 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

실리콘-게르마늄 합금의 전자 소자 응용

이승윤

Applied Science and Convergence Technology

2011 .03

UHV 시스템 및 FED Test 장비

정승민

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Structure of Ni / Si(100) system using UHV Scanning Tunneling Microscope

Y. -H. Khang ,  D. Jeon ,  Y. Kuk

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Optimization of μc-SiGe:H Layer for a Bottom Cell Application

조재현 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

SiGe 집적회로 내의 다결정 SiGe 박막 저항기의 특성 분석

이상흥 ,  이승윤 ,  박찬우

Applied Science and Convergence Technology

2007 .11

Investigation of thermal stability of strained Si on relaxed SiGe layer

C. H. Jang ,  J. W. Lee ,  C. W. Yang 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

UHV Glass Packaging of the Si Field Emitter Array for Display

류경선 ,  권상직 ,  우형수 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

실리콘 - 게르마늄 바이시모스 공정에서의 실리콘 - 게르마늄 이종접합 바이폴라 트랜지스터 열화 현상

김상훈 ,  이승윤 ,  박찬우 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2005 .03

UHV Scanning Tunneling Microscope

구자용

진공이야기

2016 .03

[분과초청] Strain-Relaxed SiGe Layer on Si Formed by PIII&D Technology

Seung Hee Han ,  Kyunghun Kim ,  Sung Min Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08