UHV - ECRCVD에 의한 Si과 SiGe 에피막의 전기적 특성

황석희 ,  윤의준 ,  황기웅

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

UHV - ECRCVD에 의한 SiGe / Si 이종접합 다이오드

황석희 ,  윤의준 ,  황기웅

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

UHV - CVD와 UHV - ECRCVD를 이용한 게이트용 다결정 SiGe 박막 증착에 관한 연구

박진원 ,  임승현 ,  여환국 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

UHV ECRCVD에 의한 SiH₄ / H₂ 플라즈마를 이용한 저온 실리콘 에피 증착에 관한 연구

태흥식 ,  황석희 ,  박상준 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

ECRCVD법에 의한 저유전율 a-C:F 층간절연막의 특성

박정원 ,  손세일 ,  양성훈 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Si / SiGe Epitaxial Growth by UHV - CVD

송석찬 ,  임승현 ,  이승윤 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

UHV 시스템 및 FED Test 장비

정승민

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Low - temperature silicon epitaxy by UHV - CVD

이홍로 ,  임승현 ,  박진원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Structure of Ni / Si(100) system using UHV Scanning Tunneling Microscope

Y. -H. Khang ,  D. Jeon ,  Y. Kuk

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

UHV Glass Packaging of the Si Field Emitter Array for Display

류경선 ,  권상직 ,  우형수 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

초고진공 저온 주사터널 현미경 장치의 최신 경향

함웅돈 ,  염한웅

진공이야기

2016 .12

Low - Temperature Si(001) Layer Grown Using Low - Energy Hyperthermal Si Atoms in UHV Ion - Beam Sputter Deposition : Epitaxial Thickness and Hydrogen Concentration

이내응

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Influence of growth parameters on the crystal quality of Zn(S,Se) epilayer

임재영 ,  손정식 ,  노삼규

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Electrical characteristics of lateral poly - silicon field emission triode using LOCOS process

Jae-Hoon Lee ,  Myoung-Bok Lee ,  Dong-Il Pa 외 4명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1999 .04

UHV Scanning Tunneling Microscope

구자용

진공이야기

2016 .03

Generation of UHV with a dry turbo- and backing pump combination

And ,  eas SCHOPPHOFF

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

UHV - CVD를 이용한 Si 선택적 단결정막 성장

임승현 ,  송석찬 ,  박태서 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

XPS Study of Ionic Liquid Solutions in UHV

Ji-Hye Kwon ,  Y. C. Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

초고진공 전자 사이클로트론 화학 기상 증착 장치에 의한 저온 실리콘 에피 성장에 기판 DC 바이어스가 미치는 영향

태흥식 ,  황석희 ,  박상준 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .12