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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1992.2
- 수록면
- 84 - 86 (3page)
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An electromigration induced failure analysis has been performed on d.c. stressed Al thin film stripes. Al thin films of 1000A thickness were deposited onto slide glass substrates by using e-beam evaporator from Mo boats in a high vacuum of 6×10^(-8) Torr range. The initial resistivity of Al/glass thin films is 2.7 ± 0.15(μ ... 전체 초록 보기
목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
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