Plasma Source Ion Implantation - A Three Dimensional Ion Implantation Technique

Seunghee Han ,  Haidong Kim ,  Yeonhee Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Plasma Source Ion Implantation using High Power Pulsed RF Plasma

Seunghee Han ,  Yeonhee Lee ,  Youngwoo Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

ENHANCEMENT OF HYDROPHOBIC PROPERTY OF DIAMOND - LIKE - CARBON FILMS USING PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION TECHNIQUE

SEUNGHEE HAN ,  YEONHEE LEE ,  JUNGHYE LEE 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Plasma source ion implantations for shallow junction

조정희 ,  한승희 ,  이연희 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION OF NITROGEN AND CARBON IONS INTO CO - CEMENTED WC

SEUNGHEE HAN ,  aYEONHEE LEE ,  JUNGHYE LEE 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Development of High Flux Metal Ion Plasma Source for the Ion Implantation and Deposition

Do-Yun Kim ,  Eui-Wan Lee

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2003 .12

POLYMER SURFACE MODIFICATION USING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA SOURCE ION IMPLANTATION

SEUNGHEE HAN ,  YEONHEE LEE ,  JUNGHYE LEE 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

PSII (Plasma Source Ion Implantation) - Applications & Perspective -

John R. Con ,  ad

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Non-gaseous Plasma Immersion Ion Implantation and Its Applications

Seung Hee Han ,  Enkyeom Kim ,  Won Woong Pa 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Improvement of Hydrophilicity of Various Polymer Surfaces Using Plasma Source Ion Implantation

Yeonhee Lee ,  Seunghee Han ,  Jung-Hye Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

가스 클러스터 이온빔을 이용한 고체 표면 평탄화 및 식각에 대한 연구

송재훈 ,  최덕균 ,  최원국

Applied Science and Convergence Technology

2003 .03

Plasma Immersion Ion Implantation을 적용한 알루미늄합금의 방열 및 내부식특성에 관한 연구

김정효 ,  김승진 ,  차병철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Damages in thin silicon substrate prepared using ion-cut method

석재권 ,  김형권 ,  김혜연 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Surface properties of polystyrene ionomers treated by plasma source ion implantation

Hyuneui Lim ,  Yeonhee Lee ,  Seunghee Han 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

Filtered Plasma Deposition and MEVVA Ion Implantation

A. D. Liu ,  H. X. Zhang ,  T. H. Zhang

Applied Science and Convergence Technology

2003 .10

Al 박막 금속화의 신뢰성 향상에 관한 연구

전진호 ,  김영진

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Shallow Junction을 위한 Plasma Source Ion Implantation(PSII) 공정 연구

이상욱 ,  김정희 ,  김훈 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Review of Plasma Sources

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

High density micro ion beam by plasma ion source

Masaki SUGAWARA ,  Ha ,  uo KASAHARA 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

PSII(Plasma Source Ion Implantation)와 PN(Plasma Nitriding)으로 제조한 AlN의 특성 분석

심연근 ,  김윤기 ,  김건우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07