MOCVD 공정을 이용한 GaAs 박막성장의 비선형 표면반응모델에 대한 연구

임익태

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 임익태

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제32권 제3호

발행연도: 2008.3

수록면: 181 - 189 (9page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

GaAs film growth process from trimethylgallium(TMGa) and tertiary-butylarsine(TBAs) using a horizontal MOCVD reactor was numerically studied to explain the experimental result that the decreasing surface reaction rate as the increasing partial pressure of group III species. Using the non-linear model based on the Langmuir isotherm which considers the adsorption and desorption of molecules, film deposition over the entire reactor scale was predicted by computational fluid dynamics (CFD) with the aid of the parameters obtained from the selective area growth (SAG) technique. CFD Results using the non-linear surface reaction model with the parameters determined from the SAG experiments predicted too high film growth rate compared to the measured values at the downstream region where the temperature was decreased abruptly. The pairs of (kⁿs , K ) from the numerical simulations was (2.52×10-6 ㏖/㎡/s, 1.6×10?㎥/㏖), whereas the experimentally determined was (3.58×10-5 ㏖/㎡/s, 6.9×10?㎥/㏖).

#Metalorganic Chemical Vapor Deposition(MOCVD)(유기금속 화학기상증착) #GaAs #Non-linear Surface Reaction Model(비선형 표면반응모델) #Computational Fluid Dynamics(CFD) (전산유체역학)

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

임익태

소속기관 전북대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 공학 일반

논문수 55 이용수 3,780

이 논문과 함께 이용한 논문

유기금속화학증착법 ( MOCVD : MetalOrganic Chemical Vapor Deposition )

김무성 대한전자공학회 단기강좌 1986 .01

LP-MOCVD 방법에 의한 InP , InGaAs의 성장

박형수 , 문영부 , 손철수 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1994 .01

MOCVD 법으로 저온에서 성장한 ZnO 박막의 Ⅵ/Ⅱ족 유량비의 영향

공보현 , 김동찬 , 김영이 외 5명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007 .04

Ⅲ-Ⅴ족 MOCVD 공정의 열전달 및 필름 성장에 대한 연구

임익태 , Yukihi , o Shimogaki 대한기계학회 춘추학술대회 2004 .04

수평형 MOCVD 반응기 내의 InP 필름성장 제어인자에 대한 영향 평가

임익태 대한기계학회 춘추학술대회 2003 .11

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016414600

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)