고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 열질화 효과 ( Thermal Nitridation Effects of Ultrathin Oxides Grown By High Pressure Oxidation )

노태문 ,  이대우 ,  박종문 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

고압산화법으로 성장된 얇은 산화막의 열질화 효과

노태문 ,  이대우 ,  박종문 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

급속열산화법에 의한 실리콘 산화막의 특성 ( Characteristics of Silicon Oxide Films Grown by Rapid Thermal Oxidation )

이귀연 ,  양두영 ,  이정용

전자공학회논문지-A

1991 .12

Electrical Characteristics of Thin Oxide Grown by High-Pressure Oxidation with Rapid Thermal Nitridation

노태문 ,  이대우 ,  송윤호 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

저압급속열산화법과 플라즈마확산산화법에 의한 실리콘 산화박막의 제조

고천광 ,  이원규

화학공학

2008 .01

급속 열처리에 의한 SiO2의 질화 ( Rapid Thermal Nitridation of SiO2 )

이용현 ,  왕진석

전자공학회논문지

1990 .05

연속적 급속열처리법에 의한 재산화질화산화막의 특성 ( Characteristics of Reoxidized-Nitrided-Oxide Films Prepared by Sequential Rapid Thermal Oxidation and Nitridation )

노태문 ,  이경수 ,  이중환 외 1명

전자공학회논문지

1990 .05

SiO2박막의 열적 질화 ( Thermal Nitridation of Thin SiO2 Film )

이용수 ,  이용현 ,  손병기

전자공학회논문지

1988 .11

Rapid Thermal Nitridation Effets on Ultrathin Oxides Grown by High Presure Oxidation for ULSI Device Applications

Tae Moon Roh ,  Dae Woo Lee ,  Jong Moon Pa 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

고주파 유도 가열에 의한 Si의 열적질화 ( Thermal Nitridation of Si by RF Induction Heating )

이용현 ,  왕진석

전자공학회논문지

1990 .09

MOCVD법에 의한 GaN에 미치는 사파이어($Al_{2}$$O_{3}$) 질화 처리 효과

정재식 ,  변동진 ,  김병호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

$N_2O$ 분위기에서 열산화법으로 성장시킨 $SiO_2$초박막의 전기적 특성

강석봉 ,  김선우 ,  변정수 외 1명

한국재료학회지

1994 .01

상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 부분산화공정의 물성 및 전기적 특성에 관한 연구 ( Study on the Material and Electrical Characteristics of the New Semi-Recessed LOCOS by Room Temperature Plasma Nitridation )

이병일 ,  주승기

전자공학회논문지

1989 .04

실리콘 산화막의 열적질화와 그 MOS특성에 미치는 영향

이정희 ,  이종현 ,  손병기

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

ECR 플라즈마 질화에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Formed by ECR Plasma Nitridation )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성 ( Electric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film Formed by Thermal Oxidation )

홍영호 ,  심창현 ,  전춘배 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

열산화법으로 형성한 탄탈륨 산화막의 전기적 특성

홍영호 ,  심창현 ,  전춘배 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06