Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구

우종창 ,  하태경 ,  위재형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

BCl₃/Ar 플라즈마에 따른 TiO₂ 박막의 식각 특성

주영희 ,  우종창 ,  박정수 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

BCl₃/Ar 식각 플라즈마에서의 이온 에너지 분포

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

$BCl_3$ 와 $BCl_3/Ar$ 유도결합 플라즈마에 따른 GaAs 건식식각 비교

임완태 ,  백인규 ,  이제원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각

이성현 ,  노호섭 ,  최경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

He/BCl₃/Cl₂유도결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성

우종창 ,  김창일 ,  주영희 외 1명

전기전자재료학회논문지

2011 .01

유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성

김용근 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구

엄두승 ,  허경무 ,  박정수 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

BCl3/Ar 유도결합 플라즈마 안에 CH4 가스 첨가에 따른 건식 식각된 TaN 박막 표면의 연구

우종창 ,  최창억 ,  양우석 외 4명

전기전자재료학회논문지

2013 .01

Ar 중성빔과 BCl₃ gas를 이용한 ZrO₂의 원자층 식각에 관한 연구

김이연 ,  임웅선 ,  박병재 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

MIM 커패시터의 Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 연구

박정수 ,  주영희 ,  우종창 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

BCl₃/Ar 유도 결합 플라즈마 시스템에서 이온 에너지 분포에 따른 HfO₂ 박막 식각

김관하 ,  김경태 ,  김종규 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

Etching characteristics of BST thin films using BCl₃/Cl₂/Ar plasma

Gwan-Ha Kim ,  Dong-Pyo Kim ,  Chang-Il Kim 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .10

BCl₃/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성

禹鍾昌 ,  金瓘河 ,  金徑兌 외 3명

전기학회논문지

2007 .03

유도결합 플라즈마를 이용한 (Bi_4-xLa_x)Ti₃O₁₂ 박막의 식각 손상

김종규 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

BCl₃/Ar 유도 결합 플라즈마 시스템에서 이온 에너지 분포에 따른 HfO₂ 박막의 식각

金瓘河 ,  金徑兌 ,  金宗奎 외 3명

전기학회논문지

2007 .02

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Study of silicon nitride etching with global warming effects for C₃F₆O/O₂ and C₃F₆/O gas mixtures

Ka Youn Kim ,  Hea Lim Lee ,  Nae-Eung Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

고밀도 플라즈마를 이용한 SnO2 박막의 건식 식각 특성

김환준 ,  주영희 ,  김승한 외 2명

전기전자재료학회논문지

2013 .01