고밀도 평판형 유도결합 BCl/SF 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 선택적 식각에 관한 연구

유승열 ,  류현우 ,  임완태 외 7명

한국재료학회지

2005 .01

평판형 유도결합 $BCL_3/CF_4$ 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식

유승열 ,  장수욱 ,  박민영 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP 의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교

박민영 ,  최충기 ,  류현우 외 12명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

평파형 고밀도 유도결합 BCl₃ 플라즈마를 이용한 AlGaAs와 InGaP의 건식식각

백인규 ,  임완태 ,  유승열 외 6명

한국표면공학회지

2003 .08

선택적 용액식각을 이용한 AlGaAs 렌즈 제작 및 AlGaAs / GaAs LED에의 응용 ( Fabrication of AlGaAs Lenses and AlGaAs / GaAs LED using the Selective Meltback Effect )

유태경 ,  함성호 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

BCl및 BCl/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaS 반도체 소자의 건식식각

임완태 ,  백인규 ,  이제원 외 2명

한국재료학회지

2003 .01

$BCl_3$ 와 $BCl_3/Ar$ 유도결합 플라즈마에 따른 GaAs 건식식각 비교

임완태 ,  백인규 ,  이제원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구

하장호 ,  전용우 ,  송현직 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

저진공 축전 결합형 BCl/N 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각

김재권 ,  박주홍 ,  이성현 외 5명

한국재료학회지

2009 .01

HEMT 소자 제작을 위한 GaAs/AlGaAs층의 선택적 건식식각 ( Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs Layer for HEMT Device Fabrication )

김흥락 ,  서영석 ,  양승주 외 4명

전자공학회논문지-A

1991 .11

습식식각공정에 의한 High Speed용 AlGaAs/GaAs 적외선 LED 소자의 특성

이철진 ,  라용춘 ,  성만영 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

GaAs / AlGaAs 양자우물을 이용한 이온건식식각의 Damage 평가 ( Evaluation of Damage Introduced by Reactive lon Etch Using GaAs / AlGaAs Quantum Well )

김현태 ,  마동성 ,  J. Motohisa 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

BCI₃ 기반 가스를 이용한 GaAs의 고밀도 평판형 유도결합 플라즈마 식각

임완태 ,  백인규 ,  유승열 외 5명

한국표면공학회지

2003 .10

유기금속기상 에피탁시에 의한 GaAs/AlGaAs 양자 구조의 선택 성장

김무성 ,  김용 ,  김성일 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

GaAs/AlGaAs 광위상 변조기의 제작과 측정

김병성 ,  정영철 ,  변영태 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

GaAs 및 AlGaAs 완충층을 이용한 GaAs MESFET 제작 ( GaAs MEFETs Using GaAs and AlGaAs Buffer Layers )

곽동화 ,  이희철

전자공학회논문지-A

1994 .12

A Study of Dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductor in F-based Plasmas

장수욱 ,  류현우 ,  최충기 외 12명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

수치해석을 이용한 AlGaAs-GaAs 이종접합에서의 전자밀도 분석 ( Analysis of the Electron Density at AlGaAs-GaAs Heterojunction using Numerical Method )

엄기수 ,  정학기 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

BCl3/Ne 혼합가스를 이용한 III-V 반도체의 고밀도 유도결합 플라즈마 식각

임완태 ,  조관식 ,  백인규 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

자화된 평판형 유도 결합 SF₆ 플라즈마의 특성

윤차근 ,  도현호 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11