2단계 산화된 탄탈륨 산화막 유전박막의 신뢰성에 관한 연구

최성태 ,  윤석범 ,  강명구 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

탄탈륨 산화물 다층 유전 박막의 전기적 특성에 관한 연구 ( Study on the Electric Characteristics of Ta2O5 Multi-dielectric Thin Films )

박주욱 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1991 .03

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성 ( Characteristics of Ta2O5 Films by RF Reactive Sputtering )

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

열적 성장된 실리콘 질화막위에 산화 탄탈륨 초박막의 형성 ( Formation of ultra-thin Ta2o5 film on thermal silicon nitrides )

이재성 ,  류창명 ,  강신원 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .11

반응성 스퍼터링법에 의한 탄탈륨산화막의 특성

금동렬 ,  박욱동 ,  김기완 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Ta₂O₅ 커패시터 박막의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

金寅性 ,  李東胤 ,  宋在成 외 2명

전기학회논문지 C

2002 .05

Ta₂O₅의 유전 특성과 열 안정성에 관한 연구

김인성 ,  송재성 ,  이동윤 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

Perfomance of Poly-3-Hexylthiophene Organic-TFTs on Plastic Substrates with Anodized Ta₂O₅ Insulator

정현석 ,  성재용 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

LPCVD-Si₃N₄ 박막의 열 산화

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

$Ta_2O_{5}$ 박막의 누설전류 및 유전특성과 박막응력

이재석 ,  양승기 ,  신상모 외 1명

한국재료학회지

1995 .01

전자선 가열법으로 형성된 탄탈륨산화막의 유전 특성 ( Dielectric Characteristics of Tantalum Pentoxide Thin Film deposited by E-Beam Evaporation )

박현수 ,  전춘배 ,  이덕동 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

2단계 스퍼터링에 의한 PZT박막의 유전특성

박삼규 ,  마재평

대한전자공학회 학술대회

2004 .06

$SnO_2$ 박막의 이용한 $Ta_{2}O_{5}$ 박막 커패시터의 유전특성에 관한 연구

김진석 ,  이문희

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

$\textrm{Ta}(\textrm{OC}_{2}\textrm{H}_{5})_{5}$와 $\textrm{NH}_3$를 이용한 산화탄탈륨 막의 원자층 증착 및 특성

송현정 ,  심규찬 ,  이춘수 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

통계적 실험 방법에 의한 Ta 박막의 증착 특성 연구

서유석 ,  박대규 ,  정철모 외 6명

한국재료학회지

2001 .01

탄탈륨 산화막과 플라즈마 실리콘 질화막의 이중 유전막에 관한 연구 ( A Study on the Multilayered Dielectric Film of Tantalum Pentoxide and Plasma Silicon Nitride )

송용진 ,  박주욱 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

반응성 스퍼터링방법으로 증착된 Ta-N 박막의 미세구조 분석

민경훈 ,  김기범

한국표면공학회지

1994 .10

열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01