열처리 온도에 따른 $Ta_2O_5$ 박막의 특성변화

강필규 ,  진정근 ,  노대호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

ECR 플라즈마 CVD로 증착한 비정질 실리콘 박막의 기판 온도와 열처리에 따른 전기적 특성

강문상

전자공학회논문지-IE

2001 .12

급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화

이창우 ,  고민경 ,  우상록 외 4명

한국재료학회지

1997 .01

구리 확산방지막으로서의 Ta와 Nb 박막의 특성에 관한 연구

최중일 ,  이종무

한국재료학회지

1996 .01

열처리 조건이 PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 박막 특성에 미치는 영향

백용구 ,  박영진 ,  김종철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

열처리 조건이 PECVD방식으로 증착된 Ta2O5 박막 특성에 미치는 영향 ( Effect of Annealing Conditions on Ta2O5 Thin Films Deposited By PECVD System )

백용구 ,  은용석 ,  박영진 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .08

스퍼터링 방법으로 증착한 CdS박막의 열처리 온도에 따른 표면 및 구조 특성

류승한 ,  임채현 ,  박주선 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .07

PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 레이저 결정화

김대섭 ,  류승욱 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Pt / Ti / SiO2 / Si 기판의 증착조건 및 열처리 조건이 PZT 박막의 결정구조 및 전기적 특성에 미치는 영향에 관한 연구

남효진 ,  김현호 ,  이원종

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

기판의 종류 및 열처리조건이 형광체 박막에 미치는 영향

정승묵 ,  한상혁 ,  임근환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

열처리 조건이 BST 박막의 결정성과 전기적 특성에 미치는 영향

주재현 ,  주승기

한국재료학회지

1995 .01

Ta-Al 합금박막의 열적안정성에 미치는 질소첨가 효과

조원기 ,  김태영 ,  강남석 외 2명

한국재료학회지

1997 .01

유도결합플라즈마 CVD법을 이용한 비정질 실리콘 박막증착을 통한 다결정 실리콘 기판의 표면 passivation 특성평가

정채환 ,  류상 ,  이종호 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

열처리가 반절연성 다결정 실리콘 박막의 구조 및 전기적 특성에 미치는 영향

조원주 ,  H. Kuwano

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

$AlCl_3$와 $NiCl_2$ 화합물 분위기를 이용한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화

엄지혜 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

열적 성장된 실리콘 질화막위에 산화 탄탈륨 초박막의 형성 ( Formation of ultra-thin Ta2o5 film on thermal silicon nitrides )

이재성 ,  류창명 ,  강신원 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .11

GaN 박막 성장에 미치는 성장조건과 기판의 영향

김선중 ,  심현욱 ,  서은경 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01